X熒光光譜儀是一種波長較短的電磁輻射，凡間是指能t局限在0.1^-100keV的光子。X射線光譜儀與物質的互相效果首要有熒光、接收和散射三種。X射線熒光光譜儀是由物質中的構成元素發(fā)生的特征輻射，經過側里和剖析樣品發(fā)生的x射線熒光，即可獲知樣品中的元家構成，獲得物質成分的定性和定量信息。特征x射線的發(fā)生與特征當用高能電子束照耀樣品時，人射高能電子被樣品中的電子減速，這種帶電拉子的負的加快度會發(fā)生寬帶的延續(xù)X射線譜，簡稱為延續(xù)潛或韌致輻射。
另一方面，化學元素遭到高能光子或粒子的照耀，如內層電子被激起，則當外層電子躍遷時，就會放射出特征X射線。特征X射線是一種別離的不延續(xù)譜.假如激起光源為x射線，則受激發(fā)生的x射線稱為二次X射線或X射線熒光。特征x射線顯示了特征x射線光譜儀發(fā)生的進程。當人射x射線撞擊原子中的電子時，如光子能量大于原子中的電子約束能，電子就會被擊出。這一互相效果進程被稱為光電效應，被打出的電子稱為光電子.經過研討光電子或光電效應可以取得關于原子構造和成鍵形態(tài)的信息。
在人們的日常生涯中，很多資料都含有濃度不等的重金屬元素，例如鉛、鉻、汞等.這些元家對人體有毒有害，其含量如超出答應局限，會極大損害人的安康，包羅人的行為才能和智力程度。因而，歐盟針對塑料產物等的新規(guī)范曾經生效，對有毒有害元素含量有了更為嚴厲的限制。因為我國每年有大徽塑材出口。這一規(guī)范的施行對我國原資料出產和出口有著極大的影響。而XRF光譜儀技能則特殊合適于用來監(jiān)控相關資料中的有毒有害元家的含量，該技能已普遍使用于實踐出產質zui節(jié)制。
此外，XRF光譜儀在無損檢測方面，具有其他剖析技能無法比較的長處，應用X射線光譜儀掃描辦法探測土壤表層下面的是元素是X射線無損檢側技能的一個主要使用范疇。
