X熒光光譜儀（XRF）由激發(fā)源（X射線管）和探測系統(tǒng)構(gòu)成。X射線管產(chǎn)生入射X射線（一次X射線），激發(fā)被測樣品，產(chǎn)生X熒光（二次X射線），探測器對X熒光進行檢測。
優(yōu)缺點
優(yōu)點
a) 分析速度快。測定用時與測定精密度有關(guān)，但一般都很短，10～300秒就可以測完樣品中的全部待測元素。
b) X射線熒光光譜跟樣品的化學結(jié)合狀態(tài)無關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒有關(guān)系。（氣體密封在容器內(nèi)也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現(xiàn)象。特別是在超軟X射線范圍內(nèi)，這種效應(yīng)更為顯著。波長變化用于化學位的測定 。
c) 非破壞分析。在測定中不會引起化學狀態(tài)的改變，也不會出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復(fù)多次測量，結(jié)果重現(xiàn)性好。
d) X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質(zhì)上屬同一族的元素也能進行分析。
e) 分析精密度高。目前含量測定已經(jīng)達到ppm級別。
f) 制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。
缺點
a） 定量分析需要標樣。
b）對輕元素的靈敏度要低一些。
c）容易受元素相互干擾和疊加峰影響。
分類
X熒光光譜儀有兩種基本類型：波長色散型（WD-XRF）和能量色散型（ED-XRF）。
以X熒光的波粒二象性中波長特征為原理的稱為波長色散型，以能量特征為原理的稱為能量色散型。
